當(dāng)前標(biāo)簽：高純氮氣
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高純氮氣在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護(hù)氣和運載氣，化學(xué)氣相淀積時的載氣，液體擴(kuò)散源的攜帶氣，在高溫擴(kuò)散爐中用作器件的保護(hù)氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為9
