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高純氮氣在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣，化學氣相淀積時的載氣，液體擴散源的攜帶氣，在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為9
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氮氣，化學式為N2，通常狀況下是一種無色無味的氣體，而且一般氮氣比空氣密度小。氮氣占大氣總量的78.08%（體積分數），是空氣的主要成份之一。在標準大氣壓下，氮氣冷卻至-195.8℃時，變成無色的液體，冷卻至-209.8℃時，液態氮變成雪狀
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混合氣體的性質將混合氣體看成一種純物質時，常使用折合摩爾質量Μ和折合氣體常數R混合氣體的密度等于各組成氣體在混合氣體的總壓力和溫度下之密度與其容積成分的乘積之和。常見的混合氣體干燥空氣：21%氧氣和79%氮氣的混合氣體 二氧化碳混合氣體
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混合氣指含有兩種或兩種以上有效組份，或雖屬非有效組份但其含量超過規定限量的氣體。由幾種氣體組成的混合物，是工程上常用的工質?；旌蠚怏w通常被當作理想氣體研究?；旌蠚怏w的性質取決于組成氣體的種類和成分。混合氣體的成分有3種表示方法?！ 、偃?/div>
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氧氣的化學性質比較活潑。除了稀有氣體、活性小的金屬元素如金、鉑、銀之外，大部分的元素都能與氧氣反應，這些反應稱為氧化反應，而經過反應產生的化合物（有兩種元素構成，且一種元素為氧元素）稱為氧化物。一般而言，非金屬氧化物的水溶液呈酸性，而堿金屬
